SR8250
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■双末端执行器

■ SCARA 结构

■ 真空手

机器人模型 SR8261
自由度 5轴
晶圆尺寸 300/450mm
工作范围

Θ1轴：-200 – 130 deg

Θ2轴：-170 – 140 deg

Z轴：400mm

滚动轴：-230 ～+110mm
最高速度

Θ1轴：4.71 red/sec

Θ2轴：4.71 red/sec

Z轴：500 mm

滚动轴：4.71 rad/s
最大有效载荷 1kg（包括EE）
重复性（XY & Z） ± 0.1mm
重量（用手） 120kg

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