SR7173
- 产品特点
- 产品详情
■ 耐用设计，具有优异的耐化学性，高密封性结构
■ 实现了高刚性的稳定输送
■ 兼容多种行程阵容
■ 低通线
■ 正反转高速工件转移，上下末端执行器的功能
■ 可在所有位置进行自动示教
| 机器人模型 |
SR7173-1001 |
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| 自由度 | 6轴 | ||
| 晶圆尺寸 | 300mm | ||
| 工作范围 |
跟踪轴：620mm Θ轴：-98 deg. ～+188 deg. Z轴：620mm 翻转轴：-188 deg. ～ +8 deg. R1轴：490mm R2轴：490mm |
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| 最高速度 |
跟踪轴：1200mm Θ轴：-3.1 rad/s Z轴：960 mm/s 翻转轴：3.8 rad/s R1轴：1,050 mm/s R2轴：1,050 mm/s |
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| 最大有效载荷 | 8.2 kg | ||
| 重复性（XY & Z） | ± 0.1mm | ||
| 重量（用手） | 120kg | ||
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