SR8250
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■单臂式

■带2个端口的离轴运动任意数量的带有 Track 的访问端口

■Z轴600mm

■单臂

■真空手

机器人模型 SR8250
自由度 4轴
晶圆尺寸 200/300mm
工作范围

R轴：-300 - 300 mm

Z轴：300mm

Θ轴：Endless
最高速度

R轴：1900 mm/s

Z轴：300 mm/sec

θ轴：225 deg/sec
最大有效载荷 2kg（包括EE）
重复性（XY & Z） ± 0.1mm
重量（用手） 90kg

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