SR8220-A
  • 产品特点
  • 产品详情
运动轴 4
工作范围
Z [毫米] 450
度 [度] -305 至 +35
R [毫米] 245
最大速度
Z [毫米/秒] 500
θ [度/秒] 6.97
R [毫米/秒] 2667
重复性
XY [毫米] ±0.1
Z [毫米] ±0.1
晶圆尺寸 150/200
晶圆映射 ●
握把类型 真空吸尘器

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