SR8220 系列
- 产品特点
■采用2ARM构造增大了搬运范围
■实现了晶圆的高速传输和双片同取放
■确保了超高的直线精度
■ARM和Z轴的各种组合以满足应对各种装置的需求
■可同时适应于2~8英寸包括12英寸的晶圆搬送
- 产品详情
■ 双横臂式
■ 离轴运动
■ 可通往2个端口W / O跟踪任何＃的接入端口与轨道
■ Z轴300 /600毫米
■ 单臂可用
| 机器人模型 | SR8220 | ||
| 自由度 | 单臂3轴 双臂4轴 （+ 轨道轴 1 轴） |
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| 晶圆尺寸 | 200/300mm | ||
| 工作范围 |
R1轴：-212 ～ +321deg R2轴：-212 ～ +321deg Z轴：300/600mm θ轴：±340° 轨道轴：550 ～ 1550mm
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| 最高速度 |
R1轴：5.76 弧度/秒 R2轴：5.76弧度/秒 Z轴：450毫米/秒 θ轴：6.97 弧度/秒 轨道轴：2000毫米/秒 |
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| 最大有效载荷 | 2kg（包括EE） | ||
| 重复性 | ± 0.1mm | ||
| 重量（用手） | 60/85公斤 (+轨道轴：80～150kg) |
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| FOUP 数量 | 1～2 ( +跟踪轴 3 ～ ） |
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