■大搬送范围的设计
■独立的双驱动系统实现2片同时取放
■紧凑的构造、很小的占有面积
■应对10mm的片间距
■和晶圆合同片间距的2片同取放
■低取片高度
■具有多功能和可回旋的手臂
■3段链接ARM无行走轨道的设计、应对最大5台晶圆合平行排列
■ 高通量型号
■ 双末端执行器/双拾取
■ 紧凑尺寸(节省空间)
■ 末端执行器间距 10mm
■ 可访问 4 个端口
■ 下路径线
■ SR8240 的加长臂型
■ 提供翻转轴和通用手
机器人模型 | SR8241 | ||
自由度 | 5轴 | ||
晶圆尺寸 | 300mm | ||
工作范围 |
R1轴:-275 ~ +275度 R2轴:-275 ~ +275度 X轴:-750 ~ +750mm Z轴:470mm θ轴:±170deg
|
||
最高速度 |
R1轴:9.42 弧度/秒 R2轴:9.42 弧度/秒 X轴:1952毫米/秒 Z轴:720毫米/秒 θ轴:6.54 弧度/秒 |
||
最大有效载荷 | 2kg(包括EE) | ||
重复性 | ± 0.1mm | ||
重量(用手) | 70公斤 | ||
FOUP 数量 | 4 |
上一篇:SR8220 系列
下一篇:没有了
Copyright © 东莞市协力智能科技有限公司 All rights reserved