SR8241系列
  • 产品特点

 

■大搬送范围的设计
■独立的双驱动系统实现2片同时取放
■紧凑的构造、很小的占有面积
■应对10mm的片间距
■和晶圆合同片间距的2片同取放
■低取片高度
■具有多功能和可回旋的手臂
■3段链接ARM无行走轨道的设计、应对最大5台晶圆合平行排列

  • 产品详情

■ 高通量型号

■ 双末端执行器/双拾取

■ 紧凑尺寸(节省空间)

■ 末端执行器间距 10mm

■ 可访问 4 个端口

■ 下路径线

■ SR8240 的加长臂型

■ 提供翻转轴和通用手

机器人模型 SR8241
自由度 5轴
晶圆尺寸 300mm
工作范围

R1轴:-275 ~ +275度

R2轴:-275 ~ +275度

X轴:-750 ~ +750mm

Z轴:470mm

θ轴:±170deg

 

最高速度

R1轴:9.42 弧度/秒

R2轴:9.42 弧度/秒

X轴:1952毫米/秒

Z轴:720毫米/秒

θ轴:6.54 弧度/秒

最大有效载荷 2kg(包括EE)
重复性 ± 0.1mm
重量(用手) 70公斤
FOUP 数量 4

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