■双末端执行器
■ SCARA 结构
■ 真空手
| 机器人模型 | SR8261 | ||
| 自由度 | 5轴 | ||
| 晶圆尺寸 | 300/450mm | ||
| 工作范围 |
Θ1轴：-200 – 130 deg Θ2轴：-170 – 140 deg Z轴：400mm 滚动轴：-230 ～+110mm |
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| 最高速度 |
Θ1轴：4.71 red/sec Θ2轴：4.71 red/sec Z轴：500 mm 滚动轴：4.71 rad/s |
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| 最大有效载荷 | 1kg（包括EE） | ||
| 重复性（XY & Z） | ± 0.1mm | ||
| 重量（用手） | 120kg | ||
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