■单臂式
■带2个端口的离轴运动任意数量的带有 Track 的访问端口
■Z轴600mm
■单臂
■真空手
| 机器人模型 | SR8250 | ||
| 自由度 | 4轴 | ||
| 晶圆尺寸 | 200/300mm | ||
| 工作范围 |
R轴：-300 - 300 mm Z轴：300mm Θ轴：Endless |
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| 最高速度 |
R轴：1900 mm/s Z轴：300 mm/sec θ轴：225 deg/sec |
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| 最大有效载荷 | 2kg（包括EE） | ||
| 重复性（XY & Z） | ± 0.1mm | ||
| 重量（用手） | 90kg | ||
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