SR8220-A
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| 运动轴 |
4 |
| 工作范围 |
| Z [毫米] |
450 |
| 度 [度] |
-305 至 +35 |
| R [毫米] |
245 |
| 最大速度 |
| Z [毫米/秒] |
500 |
| θ [度/秒] |
6.97 |
| R [毫米/秒] |
2667 |
| 重复性 |
| XY [毫米] |
±0.1 |
| Z [毫米] |
±0.1 |
| 晶圆尺寸 |
150/200 |
| 晶圆映射 |
● |
| 握把类型 |
真空吸尘器 |
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